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在高真空抽氣過(guò)程的起始階段，泵的很大的未經(jīng)烘烤的內表面會(huì )吸附水，然后再在較低的壓力下重新釋放出來(lái)。這種效應在無(wú)閥門(mén)的系統中更為明顯，因為它可能比未暴露在壓力高于150Pa的空氣環(huán)境的有閥門(mén)的系統吸附更多的水蒸氣。系統停機時(shí)，先關(guān)閉高真空閥，如果有液氮冷阱的話(huà)，還要將冷阱加熱。在冷阱達到平衡溫度后，關(guān)掉前級管道閥，再切斷渦輪分子泵電動(dòng)機的電源，使分子泵的轉子減速。

一般來(lái)說(shuō)，泵轉子完全停止需要十分鐘或更長(cháng)的時(shí)間。在分子泵轉子減速期間，來(lái)自前級管道的碳氫化合物和渦輪分子泵的潤滑油蒸氣會(huì )迅速地向泵的進(jìn)氣口上方區域擴散。為了防止機械泵油蒸氣和渦輪分子泵潤滑油蒸氣的返流，在切斷渦輪分子泵電動(dòng)機的電源后，要用一股干燥的反向氣流對分子泵進(jìn)行放氣。

例如，應該在泵轉子速度下降到很大轉速的50%左右時(shí)，在泵進(jìn)氣口上方的某處或在轉子組件上部連續充入氣或氮氣，直到泵內壓力達到大氣壓。通過(guò)從閥門(mén)3（見(jiàn)圖1）充入氣體就可適當地完成這一操作。當渦輪分子泵以額定速度運轉時(shí)，不應經(jīng)常充入壓力為大氣壓的氣流。這樣做對軸的壽命是不利的。當前級管道閥關(guān)閉后，即可關(guān)掉機械泵系統，并用放氣閥對機械泵內進(jìn)行放氣。停機后應立即關(guān)掉冷卻水以防止內部冷凝。在正常工作時(shí)，可把水溫調節到略高于來(lái)消除泵體外部可能形成的冷凝物。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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渦輪分子泵應用于低溫掃描隧道顯微鏡LT-STM渦輪分子泵應用于低溫掃描隧道顯微鏡LTSTM

掃描隧道顯微鏡STM是根據力學(xué)中的隧道效應原理,通過(guò)探測固體表面原子中電子的隧道電流來(lái)分辨固體表面形貌的新型顯微裝置.低溫掃描隧道顯微鏡LT-STM真空互聯(lián)除了具有納米分析能力外,它還可以在4到300K的溫度范圍內對原子和分子進(jìn)行準確操作.

低溫掃描隧道顯微鏡LT-STM具有很長(cháng)的LHe保持時(shí)間,極低的漂移率和出色的穩定性dz

LT-STM系統需要在超高真空環(huán)境中進(jìn)行研究,對真空度要求及其高,真空可到1E-10mbar,需要用前級泵,分子泵,離子泵,鈦泵等組合使用來(lái)達到要求,同時(shí)分子泵需要低振動(dòng),低噪音,清潔無(wú)油確保超高真空的穩定性以保證晶體的生長(cháng)和后期的探測分析.

某搭建LT-STM真空互聯(lián)系統公司,采購5套渦輪分子泵用于給裝置提供超高真空.主要技術(shù)參數如下:

抽速L/S

N2:260,H2:220,He:255,Ar:255

全轉速時(shí)氣體流量

mbarl/s

N2:14,H2:>14,He:20,Ar:7

壓縮比

N2:>1X1011,H2:9X105

He:>1X108,Ar:>1X1011

聲壓水平

≤50dBA

很大功率消耗

300W

很大電流

12.5A

安裝方向

任意方向

允許輻射的很大熱功率

2.4W

很大允許磁場(chǎng)

5.5MT

轉速±2%

60000min-1

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有防護網(wǎng)保護，為什么還會(huì )有大塊碎玻璃掉入泵內？原因：防護網(wǎng)，前級管道解決方法：優(yōu)化系統設計6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì )返到前級管道？原因：油池或密封不良解決方法：檢查油池7、正常使用下，為什么分子泵油池會(huì )出現裂紋或者變形原因：過(guò)熱，負載大解決措施：檢查冷卻系，檢查系統

分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘等物體，如M5的頂絲等，請問(wèn)是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？原因：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒(méi)有影響。解決方式：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒(méi)有影響。9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？答：不作特殊限定，至少3個(gè)，按照法蘭大小可選3、6、12、24等。

、變頻器電源在什么情況下會(huì )造成程序丟失或者錯亂？答：①電壓不穩②強干擾③高壓打火④認為11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要儀器和特定的測試環(huán)境12、分子泵是否對冷卻有明確要求？如風(fēng)冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會(huì )出現何后果？答：注意水溫和水流量，冷卻不良會(huì )導致無(wú)故停機、碎泵、油變黑等。

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